发明名称 DOUBLE-ELECTRET MEMS ACTUATOR
摘要
申请公布号 AU2003224676(A1) 申请公布日期 2003.09.29
申请号 AU20030224676 申请日期 2003.03.11
申请人 UNI-PIXEL DISPLAYS, INC. 发明人 MARTIN, G. SELBREDE
分类号 B81B3/00;H01H59/00;H02N1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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