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发明名称 COPOLYMER, POLYMER MIXTURE AND RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR20030076202(A) 申请公布日期 2003.09.26
申请号 KR20020081088 申请日期 2002.12.18
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/039;C08F212/14;C08F220/18;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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