| 摘要 |
<p>Zur Abscheidung von reaktiven Schichten mit Hilfe eines Vakuumplasmaprozesses wird ein Vakuumplasmagenerator (1) realisiert, der betriebssicher bei hohen Pulsleistungen eingesetzt werden kann und in der Lage ist, Bogenentladungen im Plasmaprozess weitestgehend zu vermeiden. Der Generator (1) ist aufgebaut aus einem Netzgleichrichter (6) für die Gleichrichtung der Netzspannung, einem DC-DC-Konverter (7) zur Einstellung und / oder Regelung der Konverterausgangspannung, sowie einer dem Konverter (7) nachgeschalteten Halbleitervollbrückenschaltung (13) zur Erzeugung von Pulsen im Bereich von 1 bis 500 kHz, wobei in die Vollbrücke (13) ein potentialtrennender Transformator (14) geschaltet ist zur galvanischen Entkopplung des Generatorausganges.</p> |
