| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR REDUCING CHARGE ACCUMULATION ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1093662(A1) |
申请公布日期 |
2001.04.25 |
| 申请号 |
EP20000930850 |
申请日期 |
2000.05.03 |
| 申请人 |
ETEC SYSTEMS, INC. |
发明人 |
MANKOS, MARIAN;CHANG, TAI-HON, P. |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/02;H01J37/073;H01J37/12;H01J37/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/02;H01J1/30 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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