发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1101245(A2) 申请公布日期 2001.05.23
申请号 EP19990934565 申请日期 1999.07.03
申请人 STEAG ELECTRONIC SYSTEMS AG 发明人 MUELLER, UWE;HENSON, DAVID
分类号 B08B3/04;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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