VERTICAL IMPEDANCE SENSOR ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING A VERTICAL IMPEDANCE SENSOR ARRANGEMENT

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vertikal-Impedanz-Sensor-Anordnung und ein Verfahren zum Herstellen einer Vertikal-Impedanz-Sensor-Anordnung. Die Vertikal-Impedanz-Sensor-Anordnung hat ein Substrat, eine erste elektrisch leitfähige Struktur mit einer ersten freiliegenden Oberfläche, welche erste elektrisch leitfähige Struktur in und/oder auf dem Substrat angeordnet ist. Ein Abstandshalter ist über dem Substrat und/oder zumindest teilweise auf der ersten elektrisch leitfähigen Struktur angeordnet. Ferner hat die Vertikal-Impedanz-Sensor-Anordnung eine auf dem Abstandshalter angeordnete zweite elektrisch leitfähige Struktur mit einer zweiten freiliegenden Oberfläche. Auf dem ersten und dem zweiten freiliegenden Oberflächenbereich sind Fängermoleküle immobilisiert, die derart eingerichtet sind, dass mit diesen zu erfassende Partikel hybridisieren können.