| 主权项 |
1.一种光阻组成物,其包含硷可溶解之树脂(A)及辐射感光化合物(B)做为主要成份,其改良处在于该光阻组成物另外包含0.1至3重量%,系以该光阻组成物之固体含量为基础,下式(I)之化合物(C):其中R1至R4之每一基互相独立,为一种疏水之取代基或氢原子,惟所有R1至R4不同时是氢原子,且R1至R4之至少一基为可被卤素原子取代之C1-4烷基,可被卤素原子取代之C1-4烷氧基,可被卤素原子取代之C2-5烷羰氧基,a至d之每一个均互相独立地为从1至5之整数,当R1至R4之任何一基以复数呈现时,此R1至R4之任何一基之复数可为相同或不同,其中所述之硷可溶解之树脂(A)为一种酚醛清漆树脂,而辐射感光化合物(B)为一种包含正二叠氮基之感光化合物。2.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其包含之化合物(C)之量为从0.4至1.5重量%,系以该光阻组成物之固体含量为基础。3.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中在式(I)中,R1至R4之至少一者为甲基。4.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中化合物(C)具有以连接具有羟基之各自碳原子之C-C键呈对称之分子结构。5.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中所述之酚醛清漆树脂为一种藉由至少一种选自间甲酚,对甲酚与2,5-二甲基苯酚及至少一种选自甲醛,乙醛,三聚乙醛与对羟基苯甲醛之醛类之缩聚作用所获得之树脂。6.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中包含正二叠氮化物基之感光化合物为至少一种选自酚醛清漆树脂之化合物与聚羟基二苯甲酮之1,2-二叠氮化合物-5-磺酸酯。 |
