光刻编程集成电路

摘要

本发明提出一光刻编程集成电路(LPIC)。制造LPIC的核心设备是开口可编程掩模版(OPM)。OPM掩模版一般含有开口定义层和光调制层。光调制层中的光调制元可以使用液晶或MEMS结构。OPM掩模版可以根据设置数据来控制LPIC中通道孔和金属线缺口的有无。LPIC与现有技术相比，尤其在中小批量生产时，具有较低成本、较短生产周期并给用户提供极大的设计自由度。

主权项

1.一光刻编程集成电路(LPIC)族，其特征在于含有：第一LPIC产品，该第一LPIC产品具有第一整体收入期望值，并含有至少一层第一薄膜；第二LPIC产品，该第二LPIC产品具有第二整体收入期望值，并含有第二薄膜，该第二薄膜与第一薄膜对应但具有不同图形；形成该第一和第二薄膜图形的常规掩模版有一掩模版市价，该掩模版市价大于第一和第二整体收入期望值中的较小值。