流量传感器

摘要

一种新型的流量传感器，在腔室(20)将两个膜片(31)、(32)相对配置而划分成一次侧腔室(21)与二次侧腔室(25)，使产生差压的流体从所述一次侧腔室经过具有节流口部(40)的旁通流路(35)而流通到二次侧腔室，由抵接配置于所述第一膜片及第二膜片之间的负载差传感器(50)将因该第一膜片及第二膜片受到的流体的压力变动所产生的负载差值检测为位移量而检测流体的流量，为不使因所述第一膜片及第二膜片受到的流体的压力变动所产生的位移量成为规定以上的大小，而对所述膜片或负载差传感器设置位移限制构件(61)、(62)。采用本发明，能容易测量在测量微小流量时的微小差压，并且能耐高压。

主权项

1、一种流量传感器，在腔室内将两个第一及第二膜片相对配置而划分成面向所述第一膜片的一次侧腔室与面向所述第二膜片的二次侧腔室，使产生差压的流体从所述一次侧腔室经过具有节流口部的旁通流路而流通到二次侧腔室，由配置于所述第一膜片及第二膜片之间的负载差传感器，将因该第一膜片及第二膜片受到流体的压力变动所产生的负载差值检测为位移量而检测流体流量，其特征为：对于所述膜片或负载差传感器设置有位移限制构件，以使因所述膜片受到流体的压力变动所产生的位移量不成为规定以上的大小。