发明名称 温度传感器
摘要 本发明涉及一种温度传感器,在单晶衬底的表面上具有温敏元件,其中该温敏元件由铂薄膜电阻器制成,并且将其制作为外延层。
申请公布号 CN1444235A 申请公布日期 2003.09.24
申请号 CN03120070.2 申请日期 2003.03.12
申请人 贺利氏森硕耐特有限公司 发明人 卡尔·海因茨·维南德;托马斯·洛泽
分类号 H01C7/00;G01K7/18 主分类号 H01C7/00
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 楼仙英;曾建成
主权项 1.一种温度传感器,在单晶衬底的表面上具有温敏元件,其中该温敏元件由铂薄膜电阻器构成,其特征在于,将铂薄膜电阻器制作为外延层。
地址 联邦德国哈瑙市