发明名称 | 温度传感器 | ||
摘要 | 本发明涉及一种温度传感器,在单晶衬底的表面上具有温敏元件,其中该温敏元件由铂薄膜电阻器制成,并且将其制作为外延层。 | ||
申请公布号 | CN1444235A | 申请公布日期 | 2003.09.24 |
申请号 | CN03120070.2 | 申请日期 | 2003.03.12 |
申请人 | 贺利氏森硕耐特有限公司 | 发明人 | 卡尔·海因茨·维南德;托马斯·洛泽 |
分类号 | H01C7/00;G01K7/18 | 主分类号 | H01C7/00 |
代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英;曾建成 |
主权项 | 1.一种温度传感器,在单晶衬底的表面上具有温敏元件,其中该温敏元件由铂薄膜电阻器构成,其特征在于,将铂薄膜电阻器制作为外延层。 | ||
地址 | 联邦德国哈瑙市 |