具有受吸气层保护的氢退化介电层的集成电容器件

摘要

描述了一种集成器件，它包括一个由介电层隔开的第一和第二电极层形成的薄膜电容，介电层由可氢退化的化合物形成，其特征在于它进一步包括至少一层吸气层，吸气层由下列材料之一制成：锆、钒和铁组成的合金(可选地可含有少量锰和/或稀土元素)，或锆与铁、钴、镍至少其中之一组成的合金(可选地可含有至多15％(重量百分比)的稀土元素)。

主权项

1.一种集成器件，包括由第一和第二电极层形成的薄膜电容，电极层被由可氢退化的化合物组成的一个介电层分开，该集成结构可选地包括支撑层和电容下电极层之间的粘合金属层，在电容的上电极层之上的保护层和覆盖电容结构的中间介电层，其特征在于它包括一吸气层，吸气层由下列材料组成的组中的材料制成：锆、钒和铁组成的合金，可选地可含有少量锰和/或稀土元素，锆与铁、钴、镍至少其中之一组成的合金，可选地可含有至多达15％重量百分比的稀土元素。