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发明名称
摘要
申请公布号 JP3340407(B2) 申请公布日期 2002.11.05
申请号 JP19990223510 申请日期 1999.08.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;C23C16/40;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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