发明名称 通孔填充方法
摘要 本发明提供了一种通孔填充方法,其中在薄镀后,施加1-50毫秒的正向电解时间和0.2-5毫秒的反向电解时间为一个周期的PPR电流,直到表示正向电解电流密度与反向电解电流密度的比值的F/R比值为至少1/0.2并小于1/1为止。
申请公布号 CN1444437A 申请公布日期 2003.09.24
申请号 CN03122606.X 申请日期 2003.01.15
申请人 希普雷公司 发明人 土田秀树;日下大
分类号 H05K3/42 主分类号 H05K3/42
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 郭建新
主权项 1.一种用金属填充通孔的方法,包括下列步骤:薄镀,然后施加正向电解时间为1-50毫秒和反向电解时间为0.2-5毫秒作为一个周期的PPR电流,使表示正向电解电流密度与反向电解电流密度的比值的F/R比值为1/0.2至1/1。
地址 美国马萨诸塞