检查图形的方法

摘要

一种用于检查电路图形的方法，包括对顺序获取的电路图形的图像执行初始检查以确定在电路图形中的潜在缺陷；一旦在初始检查过程中识别到电路图形中的潜在缺陷，就中断初始检查并对包括潜在缺陷的顺序获取图像部分执行二次评估；在完成第二检查后，恢复初始检查。

主权项

1、一种用于检查电路图形的方法，包括：对顺序获取的电路图形的图像的执行初始检查以确定在所述电路图形中的潜在缺陷；在所述初始检查过程中在所述电路图形中刚一识别潜在的缺陷，就中断所述初始检查并对包括所述潜在缺陷的所述顺序获取图像部分执行二次评估；以及在完成所述第二检查后，恢复所述初始检查。