| 发明名称 | 大口径波面干涉测量仪 | ||
| 摘要 | 一种大口径波面干涉测量仪，它由入射平板(1)、反射平板(2、4)、出射平板(3)和反射平板(5、6)构成，其中平板(1、3)为透射平板，反射平板(2、4、6)为整块，而反射平板(5)是由一上半平板(51)和一下半平板(52)构成的，上述平板的位置关系如下：透射平板(1、3)与反射平板(2、6)平行，反射平板(4)与反射平板(2)垂直，反射平板(5)的上、下半平板(51、52)与反射平板(6)垂直为基准方向，上半平板(51)与基准方向的夹角为α，下半平板(52)与基准方向的夹角为－β，而且α＝β，待测入射波面经透射平板(1)形成的反射光束B和透射光束A，该反射光束B经平板(6、5、3)反射和该透射光束A经平板(2、4)的反射并透过平板(3)后两光束出射时，波面的重合部分构成等光程相干。 | ||
| 申请公布号 | CN1444023A | 申请公布日期 | 2003.09.24 |
| 申请号 | CN03116349.1 | 申请日期 | 2003.04.11 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 栾竹;刘立人;祖继峰;滕树云 |
| 分类号 | G01J9/02 | 主分类号 | G01J9/02 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种大口径波面干涉测量仪，其特征在于它由入射平板(1)、反射平板(2、4)、出射平板(3)和反射平板(5、6)构成，其中平板(1、3)为透射平板，反射平板(2、4、6)为整块，而反射平板(5)是由一上半平板(51)和一下半平板(52)构成的，上述平板的位置关系如下：透射平板(1、3)与反射平板(2、6)平行，反射平板(4)与反射平板(2)垂直，反射平板(5)的上、下半平板(51、52)与反射平板(6)垂直为基准方向，上半平板(51)与基准方向的夹角为α，下半平板(52)与基准方向的夹角为-β，而且α＝β，待测入射波面经透射平板(1)形成的反射光束B和透射光束A，该反射光束B经平板(6、5、3)反射和该透射光束A经平板(2、4)的反射并透过平板(3)后两光束出射时，波面的重合部分构成等光程相干。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||