| 发明名称 |
CENTRIFUGAL TYPE CONTAMINANT COLLECTOR TRAP FOR ION IMPLANTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1345701(A2) |
申请公布日期 |
2003.09.24 |
| 申请号 |
EP20010271647 |
申请日期 |
2001.12.13 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
QUILL, JAMES, PATRICK |
| 分类号 |
B01D45/12;B01D45/16;B04C5/103;B04C5/12;C23C14/48;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):B04C3/00;B01D45/02;H01J37/32;H01J49/24 |
主分类号 |
B01D45/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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