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发明名称 SUBSTRATE FOR MATERIAL TO BE EXPOSED
摘要
申请公布号 EP1346260(A1) 申请公布日期 2003.09.24
申请号 EP20010270808 申请日期 2001.12.12
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;BIOMERIEUX SA 发明人 POUTEAU, PATRICK;CHATON, PATRICK;PERRAUT, FRANCOIS
分类号 G03F7/004;G02B1/10;G02B5/26;G03F7/09;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/09;B01J19/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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