自组装奈米导电凸块及其制造方法

摘要

一种奈米导电凸块及其制造方法，系利用化学自组装的方式，使奈米碳管沉积于基板上的金属垫而形成线束状之导电凸块，此制程可降低目前覆晶封装技术中I／O间的距离，且在室温下即可制作，以避免知之以奈米碳管作为导电凸块制程所需之高温制程可能造成晶片的损坏。