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发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 AU2002236273(A1) 申请公布日期 2003.09.22
申请号 AU20020236273 申请日期 2002.03.08
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 NOBUO ISHII
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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