| 发明名称 |
Method and apparatus for manufacturing silica-titania extreme ultraviolet elements |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003216530(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.22 |
| 申请号 |
AU20030216530 |
申请日期 |
2003.03.04 |
| 申请人 |
CORNING INCORPORATED |
发明人 |
W TIMOTHY BARRETT;JR CLAUDE L DAVIS;JR. JOHN F WIGHT;MICHAEL H WASILEWSKI;BRADLEY F BOWDEN;MICHAEL ROBINSON;KENNETH E HRDINA |
| 分类号 |
G21K1/06;C03B8/04;C03B19/01;C03B20/00;C03B32/00;C03C3/06;C03C4/00;H01L21/027;(IPC1-7):C03C4/00;C03B19/14 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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