| 发明名称 |
PLASMA PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR INTERRUPTING PLASMA PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003221363(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.22 |
| 申请号 |
AU20030221363 |
申请日期 |
2003.03.12 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
HIROSHI OGAWA;HIROSHI AZUMA |
| 分类号 |
C23C16/505;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/505 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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