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发明名称 THIN-FILM CAPACITOR HAVING MULTI-LAYER DIELECTRIC FILM INCLUDING SILICON DIOXIDE AND TANTALUM PENTOXIDE
摘要
申请公布号 AU2003230605(A1) 申请公布日期 2003.09.22
申请号 AU20030230605 申请日期 2003.03.07
申请人 ALPINE MICROSYSTEMS, INC. 发明人 MIKE LAFLEUR
分类号 H01L21/02;H01L21/316 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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