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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE AND PLASMA GENERATING METHOD
摘要
申请公布号 AU2003221359(A1) 申请公布日期 2003.09.22
申请号 AU20030221359 申请日期 2003.03.12
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;YASAKA, YASUYOSHI;TAKAHASHI, MASAHARU;ANDO, MAKOTO 发明人 YASUYOSHI YASAKA;MASAHARU TAKAHASHI;MAKOTO ANDO;NOBUO ISHII
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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