| 发明名称 |
Thin-film capacitor having multi-layer dielectric film including silicon dioxide and tantalum pentoxide |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003230605(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.22 |
| 申请号 |
AU20030230605 |
申请日期 |
2003.03.07 |
| 申请人 |
ALPINE MICROSYSTEMS, INC. |
发明人 |
MIKE LAFLEUR |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/20;H01L29/788 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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