| 发明名称 |
METHANOL-CONTAINING SILICA-BASED CMP COMPOSITIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003220972(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.22 |
| 申请号 |
AU20030220972 |
申请日期 |
2003.03.05 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
ROBERT VACASSY |
| 分类号 |
C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304;(IPC1-7):C09G1/02 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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