| 发明名称 |
NEGATIVE PHOTORESISTS FOR SHORT WAVELENGTH IMAGING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003217892(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.22 |
| 申请号 |
AU20030217892 |
申请日期 |
2003.03.04 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY, LLC |
发明人 |
GEORGE, G. BARCLAY;NICHOLAS PUGLIANO |
| 分类号 |
G03F7/033;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/075;G03F7/11;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03C5/00 |
主分类号 |
G03F7/033 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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