| 主权项 |
1.一种阻剂组成物,包括具有脂环族内酯结构单位之树脂(该脂环族内酯结构单位本身不溶于硷,但于酸作用下变成可溶)、含有2-庚酮之溶剂、以及酸产生剂,其中,该溶剂中2-庚酮之含量为约自5至约95重量%。2.如申请专利范围第1项之阻剂组成物,其中该脂环族内酯结构单位系选自下式(Ia)及(Ib)所示之聚合单位所构成之组群:其中,R1.R2.R3及R4分别独立地表示氢或甲基,n表示1至3之整数,其条件为当R2或R4为二或二以上时,其可为彼此相同或相异。3.如申请专利范围第1项之阻剂组成物,其中该树脂更进一步具有在硷性介质中藉由酸之相互作用使基团局部断裂而导致其变成硷可溶之聚合单位。4.如申请专利范围第3项之阻剂组成物,其中该脂环族内酯结构单位对硷性介质中藉由相互作用使基团局部断裂而变成硷可溶之聚合单位的比例为约90至20重量%:10至80重量%。5.如申请专利范围第1项之阻剂组成物,其中该酸产生剂为藉由施加辐射即可使其分解而产生酸之物质。6.如申请专利范围第1项之阻剂组成物,该组成物复包括胺。 |
