| 主权项 |
1.一种氧化物烧结体,系具有以MRuO3(M:Ca、Sr、Ba之中至少1种)之化学式所表示之钙钛矿构造者;其特征在于,Na、K等之硷金属元素及Fe、Ni、Co、Cr、Cu、Al之含有量总计为100ppm以下,U、Th之各元素之含有量为10ppb以下,且相对密度为90%以上。2.如申请专利范围第1项之氧化物烧结体,其相对密度为95%以上。3.一种氧化物烧结体之制造方法,其特征在于,于对Na、K等之硷金属元素及Fe、Ni、Co、Cr、Cu、Al之含有量总计为100ppm以下,U、Th之各元素之含有量为10ppb以下,且相对密度为90%以上之具有以MRuO3(M:Ca、Sr、Ba之中至少1种)之化学式所表示之钙钛矿构造之氧化物粉施以加压烧结之际,使用由Al2O3或Zr2O2等之氧化物或者Si3N4.Ru、Pt、Ir、Co、Ni所被覆之模具进行加压烧结。4.如申请专利范围第3项之氧化物烧结体之制造方法,其中,相对密度为95%以上。5.如申请专利范围第3或第4项之氧化物烧结体之制造方法,系于烧结温度1200~1400℃下进行烧结。6.如申请专专利范围第3或第4项之氧化物烧结体之制造方法,系藉由热压以施加压力200kg/cm2以上进行加压烧结。7.如申请专专利范围第5项之氧化物烧结体之制造方法,系藉由热压以施加压力200kg/cm2以上进行加压烧结。 |
