发明名称 安装装置
摘要 本发明主要系一用于将被接合物彼此接合的安装装置,设有至少可将第1被接合物之接合面洗净的洗净部、与将已洗净的第1被接合物接合到第2被接合物的接合部,两部分则被连接成使被接合物可搬送于该两部分之间,且在接合部设有在未与上述已洗净的接合面发生接触的情形下,让第1被接合物翻转的翻转机构。根据本发明,除了可以有效率地洗净接合面外,也能够大幅地缩短从洗净到接合完成为止之一连串作业之全部的时间。
申请公布号 TW554386 申请公布日期 2003.09.21
申请号 TW090119748 申请日期 2001.08.13
申请人 东丽工程股份有限公司;须贺唯知 发明人 须贺唯知;山内朗
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路三段三四六号一一一二室;宿希成 台北市松山区南京东路三段三四六号一一一二室
主权项 1.一种安装装置,其主要系针对一将第1被接合物接合到第2被接合物上的安装装置,其特征在于:除了具有至少可将第1被接合物的接合面洗净的洗净部、与将经洗净的第1被接合物接合到第2被接合物的接合部外,也将两个部分连接成可使被接合物搬送于该两部分之间,而在接合部设有可在未与上述经洗净的接合面接触的情形下,让第1被接合物翻转的翻转机构。2.如申请专利范围第1项之安装装置,具有可将第1被接合物以及第2被接合物保持在托盘上,而搬送在上述洗净部与接合部之间的搬送机构。3.如申请专利范围第1项之安装装置,上述翻转机构具有可保持第1被接合物的配件,该配件则设成可根据第1被接合物的种类而更换。4.如申请专利范围第1项之安装装置,在上述接合部设有用于保持第2被接合物的配件,该配件则设成可根据第2被接合物的种类而更换。5.如申请专利范围第1项之安装装置,在上述接合部设有用来读取第1被接合物侧以及第2被接合物侧的定位用之辨识标志的辨识机构。6.如申请专利范围第1项之安装装置,在上述洗净部设有特殊气体置换机构。7.如申请专利范围第1项之安装装置,在上述接合部设有特殊气体置换机构。8.如申请专利范围第1项之安装装置,在上述洗净部设有减压机构。9.如申请专利范围第1项之安装装置,在上述接合部设有减压机构。10.如申请专利范围第1项之安装装置,其中上述洗净部以及接合部分别被收容在各自的室内。11.如申请专利范围第10项之安装装置,在收容上述洗净部的室与收容上述接合部的室之间设有可自由开闭的遮门机构。12.如申请专利范围第1项之安装装置,其中上述洗净部具有可将用于洗净的能量波乃至于能量粒子照射在被接合物之表面的机构。13.如申请专利范围第11项之安装装置,其中上述能量波乃至于能量粒子可使用电浆、离子束、原子束、自由基束、雷射中之任一者。14.如申请专利范围第1项之安装装置,其中上述第1被接合物具有金属接合部,而上述接合部具有将该金属接合部加热接合到第2被接合物之被接合部的机构。15.如申请专利范围第1项之安装装置,其中上述接合部系被构成为可将上述第1被接合物与上述第2被接合物作假接合的假接合部,而可将两个被接合物作真接合的真接合部,则被连接到该假接合部,且能搬送被假接合的两个被接合物。16.如申请专利范围第15项之安装装置,其中上述真接合部则具有加热机构、加压机构、超音波接合机构中的至少其中一个机构。图式简单说明:图1为本发明之一实施态样之安装装置的概略纵断面图。图2为已保持有图1之装置中之被接合物之托盘的放大立体图。图3为图1之装置之放大部分的正面图。图4为已保持有图1之装置中之第1被接合物之配件(attachment)的放大断面图。图5为表示配件之变形例的断面图。图6为表示配件之其他例子的断面图。图7为本发明之其他实施态样之安装装置的概略构成图。
地址 日本