| 主权项 |
1.一种基板处理装置,系具有以处理液而处理基板的基板处理部、及使从前述基板处理部排出的处理液通过的处理液回收路,其特征在于:具有异物去除线,该异物去除线系设置在前述处理液回收路,且具有去除混合在处理液之异物的过滤器、及洗净前述过滤器的洗净机构。2.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中前述处理液回收路具有并联地连接之多数前述异物去除线,且构成在此等多数前述异物去除线之中可切换使处理液通过的线。3.如申请专利范围第2项之基板处理装置,其中更具有控制装置,该控制装置于前述多数异物去除线之中一侧的异物去除线之前述过滤器之过滤功能降低之前,控制将通过处理液之线从前述一侧的异物去除线切换至其他异物去除线。4.如申请专利范围第2项之基板处理装置,其中更具有控制装置,该控制装置于处理液通过前述多数异物去除线之中一侧异物去除线之前述过滤器之间,控制洗净处理净未通过洗净处理液之另一侧异物去除线的过滤器。5.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中前述洗净处理溶解混合在前述处理液的异物。6.如申请专利范围第5项之基板处理装置,其中被溶解之前述异物系变质的光阻剂。7.如申请专利范围第5项之基板处理装置,其中溶解前述异物之溶解液系过氧化氢、硝酸、醋酸之中其中任何之一者8.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中将供给用以溶解混合在前述处理液之异物之溶解液的溶解液供给路,连接于前述处理液供给路之前述过滤器的上游侧,且将用以排出前述溶解液之溶解液排出路,连接于前述处理液供给路之前述过滤器的下游侧。9.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中于前异物去除线设置多数个前述过滤器,而在前述多数过滤器之中设置在下游的过滤器,系去除此设置在上游之过滤器所要过滤之更细小的异物。10.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中构成再利用通过前述异物去除线之处理液。11.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中于前述异物去除线下游,设置用以清净化处理液的主过滤器。12.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中在前述处理液回收路中,在前述过滤器之上游侧设置第1阀,于前述过滤器之下游侧设置第2阀,将溶解液供给路连接于前述第1阀,将溶解液排出路连接于前述第2阀;且设置切换控制前述第1阀与第2阀的控制装置,系在要以前述过滤器去除混合在前述处理液之异物的情形下,则从前述处理液回收路之上游侧通过前述过滤器而使前述处理液通过前述处理液回收路之下游侧;在要溶解蓄积于前述过滤器之异物的情形下,则从前述溶解液供给路通过前述处理液回收路中的前述过滤器而通过溶解前述异物之溶解液。13.如申请专利范围第12项之基板处理装置,其中在前述处理液回收路中,在比前述第2阀更下游设置第3阀,将处理液排出回路连接此第3阀;且设置切换控制前述第3阀之控制装置,系回收前述处理液的情形下,前述处理液从前述处理液回收路之上游侧通过前述第3阀而向前述处理液回收路之下游侧流动而回收前述处理液,而在排出前述处理液的情形下,前述处理液从前述处理液回收路之上游侧通过前述第3阀而向前述处理液排出回路流动而排出前述处理液。14.如申请专利范围第12项之基板处理装置,其中在前述处理液回收路中之前述第1阀之上游侧设置第4阀,于前述第2阀之下游侧设置第5阀,且设置连结前述第4阀与第5阀之并行回路,于此并行回路设置并行回路侧过滤器,于此并行回路侧过滤器与前述第4阀之间的前述并行回路设置第6阀,将并行回路侧溶解液供给路连接于此第6阀,于前述并行回路侧过滤器与前述第5阀之间的前述并行回路设置第7阀,将并行回路侧溶解液排出路连接于此第7阀;且设置控制装置,系以前述过滤器去除混合在前述处理液之异物而以溶解液溶解蓄积在前述并行回路侧过滤器之异物的情形下,前述处理液通过前述第4阀、前述第1阀、前述过滤器、前述第2阀、前述第5阀而流动于前述处理液回收路中,且切换控制前述第1阀、前述第2阀、前述第4阀、前述第5阀、前述第6阀、前述第7阀而使前述溶解液从前述并行回路侧溶解液供给路通过前述第6阀、前述并行回路侧过滤器、前述第7阀而流向前述并行回路溶解液排出路;而且,前述以前述并行回路侧过滤器去除混合在前述处理液之异物而以溶解液溶解蓄积在前述过滤器之异物的情形下,前述处理液从前述处理液回收路通过前述第4阀、前述第6阀、前述并行回路侧过滤器、前述第7阀、前述第5阀而流动,且切换控制前述第1阀、前述第2阀、前述第4阀、前述第5阀、前述第6阀、前述第7阀而使前述溶解液从前述溶解液供给路通过前述第1阀、前述过滤器、前述第2阀而流向前述溶解液排出路。图式简单说明:第1图系洗净系统之平面图。第2图系洗净系统之侧面图.第3图系有关本发明之实施样态之基板洗净单元的平面图。第4图系有关本发明之实施样态之基板洗净单元的纵断面图。第5图系将内盖内的液滴排出至雾气捕捉器之步骤的说明图。第6图系将外处理室内的液滴排出至雾气捕捉器之步骤的说明图。第7图系药液及IPA循环机构的说明图。第8图系异物去除部的说明图。第9图系洗净过滤器200之步骤的说明图。第10图系药液循环单元的说明图。第11图系以药液洗净晶圆之步骤的说明图。第12图系洗净内盖之步骤的说明图。第13图系于异物去除部设置多数过滤器时之说明图。 |
