发明名称 ELECTRONIC MICRO-COMPONENT INTEGRATING A CAPACITIVE STRUCTURE AND MANUFACTURING PROCESS
摘要 Micro-composant électronique réalisé à partir d'un substrat, et intégrant u ne structure capacitive réalisée au-dessus d'un niveau de métallisation (3) présent dans le substrat (2), ladite structure capacitive comportant deux électrodes (4,7 ), caractérisé en ce que: - la première électrode (4) comporte une pluralité de lamelles métalliques (14,24,34) empilées les unes au-dessus des autres, et séparées les unes des autres par des tronçons (18,28) de moindre largeur réalisés à partir du même métal, - la seconde électrode (7) recouvre la première électrode (4) en comportant une pluralité de lamelles (31,32) intercalées entre les lamelles (14,24,34) de la première électrode (4).
申请公布号 CA2421110(A1) 申请公布日期 2003.09.20
申请号 CA20032421110 申请日期 2003.03.12
申请人 MEMSCAP 发明人 GIRARDIE, LIONEL
分类号 H01G4/33;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;H01L29/51;(IPC1-7):H01L27/00;H01L21/77 主分类号 H01G4/33
代理机构 代理人
主权项
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