| 发明名称 |
SUBSTRATE HOLDER AND SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG98416(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.19 |
| 申请号 |
SG20000003798 |
申请日期 |
2000.07.08 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
HIROO SUZUKI;KENYA ITO;KUNIHIKO SAKURAI;SATOSHI WAKABAYASHI;TETSUJI TOGAWA |
| 分类号 |
B65D85/86;B25J13/08;B25J15/00;B25J15/08;B25J19/02;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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