同心圆环式气体质量流量控制装置

摘要

本发明提供一种同心圆环式气体质量流量控制装置，装设在一气体管线中，此装置包括有一第一套管、一第二套管及一层流元件，第一套管及第二套管组合并将层流元件容置于其内，在第一套管及第二套管分别设置一感测器及一控制阀，控制感测气体的流量。本发明能精确的控制气体的流量并使气体能持续以层流的方式流动。而且因别于知技术的结构，使元件在组装、加工、洗净处理上更为容易及方便。