多孔氧化硅微流体样品预处理芯片

摘要

本发明多孔氧化硅微流体样品预处理芯片，涉及一种用于生物样品分离提纯的微流体样品预处理芯片，采用硅片、玻璃为芯片主体材料，在硅片上刻蚀出微沟道，在微沟道两端刻蚀出进样、出样孔或进样、出样流通池，硅片上键合玻璃盖板，采用电化学腐蚀法在氢氟酸乙醇溶液中制备多孔硅，然后采用热氧化法制备多孔氧化硅层对微沟道进行修饰，该多孔氧化硅层作为分离提纯的固相载体。本芯片通过在硅芯片微沟道表面制备有多孔氧化硅层，比无多孔氧化硅层的普通芯片具有更大的比表面积，增加了固相载体的吸附面积，大大提高了生物样品的分离提取效率。

主权项

1.一种多孔氧化硅微流体样品预处理芯片，用于生物样品分离提纯，采用硅片、玻璃片为芯片主体材料，在硅片上刻蚀出微沟道，在微沟道两端刻蚀出进样、出样孔或进样、出样流通池，进样、出样孔或进样、出样流通池的开口向下或向上，硅片上键合玻璃盖板，其特征在于，对微沟道进行修饰，在微沟道表面制备多孔氧化硅层，该多孔氧化硅层作为分离提纯的固相载体。