| 主权项 |
1.一种非晶形硬质碳薄膜,其主要包含碳及氢,其特征在于该非晶形硬质碳薄膜另外存在有选自矽、钛、硼及钨所组成之组群的一种或多种金属的碳化物及氧化物,且其中在该金属是矽的情况下,与碳键结之矽原子%的数量系大于与氧键结之矽原子%的数量。2.如申请专利范围第1项之非晶形硬质碳薄膜,其中该碳化物是碳化矽,该氧化物是SiOx。3.如申请专利范围第1项之非晶形硬质碳薄膜,其中基于该非晶形硬质碳薄膜的总量,该矽原子%的数量系少于4原子%。4.如申请专利范围第1项至第3项中任一项之非晶形硬质碳薄膜,其中于该薄膜中之氧含量系为0.1至10原子%。5.一种机械部件,其系具有一滑动部份,该机械部件之特征在于该滑动部份系涂覆有如申请专利范围第1项之非晶形硬质碳薄膜。6.如申请专利范围第5项之机械部件,其中该非晶形硬质碳薄膜系具有硬度为维克氏硬度1800至2500。7.如申请专利范围第5项之机械部件,其中该非晶形硬质碳薄膜厚2至15微米。8.如申请专利范围第5项至第7项中任一项之机械部件,其中该机械部件为活塞环。9.如申请专利范围第5项至第7项中任一项之机械部件,其中该机械部件为压缩机之叶片。10.如申请专利范围第5项至第7项中任一项之机械部件,其中该机械部件为燃料喷射帮浦之柱塞。图式简单说明:第1图示意显示本发明使用之射频电浆加强式CVD装置;第2图显示根据本发明之非晶形硬质碳薄膜之全部元素进行XPS分析结果;第3图显示根据本发明之非晶形硬质碳薄膜之氧元素进行XPS分析结果;第4图为适用本发明之活塞环之剖面图。非晶形硬质碳薄膜系形成于外周面上;第5图为适用本发明之三件式控油活塞环之剖面图;第6A图为适用本发明之压缩机叶片之斜向透视图;第6B图为叶片之剖面图;第7图为适用本发明之燃料喷射帮浦柱塞之剖面图;第8图示意显示用于本发明俾形成根据本发明之非晶形硬质碳薄膜之另一部射频电浆加强式CVD装置;第9图举例说明于活塞环之外周面上形成非晶形硬质碳薄膜之方法;第10图说明于活塞环之外周面、侧面及内周面形成非晶形硬质碳薄膜之另一种方法;第11图为线图显示氧流速与摩擦系数间之关系;第12图为线图显示本发明实例及比较例之摩擦耗损;第13图为线图显示本发明实例及比较例之叶片磨耗量。 |
