摘要 |
<p>Es wird ein Membransensor mit einer Einfassung der Membran (2) in einer Halterung (1) am Sensorgehäuse vorgeschlagen, bei dem die Einfassung aus einer zusätzlichen Schicht (3;5;6;7) besteht, die auf der Seite der Membran (2), die dem zu sensierenden Medium ausgesetzt ist, entlang der Kante auf die Membran (2) heraufreicht und zumindest teilweise die feste Oberfläche der angrenzenden Halterung (1) bedeckt. Die Schicht (3;5;6;7) weist vorzugsweise eine Dicke auf, die nahezu keinen Einfluss auf die Strömung des mit einem Luftmassen- oder Luftgütesensor zu sensierenden Mediums hat. Die zusätzliche Schicht (3;5;6;7) kann aus einem in Dünnschicht- oder in Dickschichttechnik strukturierbarem Material gebildet sein.</p> |