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发明名称 Transportvorrichtung für Substrate und ihr Lehrsystem
摘要
申请公布号 DE60004465(D1) 申请公布日期 2003.09.18
申请号 DE20006004465 申请日期 2000.11.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.;KAWASAKI JUKOGYO K.K., KOBE 发明人 KAWAMATSU, YASUO;WATANABE, YOSHIHIKO;HASHIMOTO, YASUHIKO
分类号 B25J9/22;B25J13/08;B25J19/00;B25J19/02;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):B25J19/02;H01L21/00 主分类号 B25J9/22
代理机构 代理人
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