薄化玻璃基板的设备

摘要

本发明提供一种薄化玻璃基板的设备，其包含至少一个化学物喷射部件、化学物供应部件以及浴槽。化学物喷射部件包含第一管和包围所述第一管的第二管。第一管具有沿着第一方向设置的多个第一喷射孔。第二管具有沿着第二方向设置在第二管的侧部处的至少一个第二喷射孔。化学物供应部件包含连接管以及压泵。连接管耦合到化学物喷射部件，且压泵设置在连接管的端部处。浴槽包含用于储存化学物的化学物容纳部件以及设置在化学物容纳部件上的围栏。围栏容纳化学物喷射部件。