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发明名称 Apparat zum Laden und Abladen einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE69626345(T2) 申请公布日期 2003.09.18
申请号 DE1996626345T 申请日期 1996.06.05
申请人 NITTO DENKO CORP., IBARAKI 发明人 MIYAMOTO, SABURO;AMETANI, MINORU
分类号 B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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