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发明名称 ZÜCHTUNG VON SEHR GLEICHMÄSSIGEN EPITAKTISCHEN SCHICHTEN AUS SILIZIUM KARBID
摘要
申请公布号 DE69808803(T2) 申请公布日期 2003.09.18
申请号 DE1998608803T 申请日期 1998.12.14
申请人 CREE, INC. 发明人 KORDINA, CLAES;IRVINE, GEORGE;PAISLEY, JAMES
分类号 C30B29/36;C23C16/32;C30B25/02 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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