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发明名称 LAGEVERÄNDERUNGS-VORRICHTUNG UND -VERFAHREN FÜR EINE HALBLEITERSCHEIBE
摘要
申请公布号 DE69910376(D1) 申请公布日期 2003.09.18
申请号 DE1999610376 申请日期 1999.05.03
申请人 RECIF S.A., AUSSONNE 发明人 ASTEGNO, PIERRE;ESTEVE, EKATERINA;GAUDON, ALAIN
分类号 B65G49/07;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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