| 发明名称 |
Pressure sensor determining absolute pressure capacitatively comprises main body, membrane, spacer and holder forming measurement cell assembly |
| 摘要 |
The measurement cell assembly (50) comprises a main body (10), membrane (20), spacer (30) and holder (40).
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| 申请公布号 |
DE10212947(C1) |
申请公布日期 |
2003.09.18 |
| 申请号 |
DE2002112947 |
申请日期 |
2002.03.22 |
| 申请人 |
NORD-MICRO AG & CO. OHG |
发明人 |
SINGPIEL, ROLAND |
| 分类号 |
G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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