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发明名称 DEVICE FOR COATING PANEL-SHAPED SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1019946(B1) 申请公布日期 2003.09.17
申请号 EP19990950450 申请日期 1999.07.30
申请人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG 发明人 SCHUHMACHER, MANFRED;SAUER, ANDREAS;GRUNDMANN, KATJA
分类号 C23C14/34;C23C14/56;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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