发明名称 |
METHOD FOR SIMPLIFYING THE MANUFACTURE OF AN INTERLAYER DIELECTRIC STACK |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0909461(B1) |
申请公布日期 |
2003.09.17 |
申请号 |
EP19970915877 |
申请日期 |
1997.03.07 |
申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
KEPLER, NICK |
分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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