发明名称 METHOD FOR MAKING A SUBSTRATE IN PARTICULAR FOR OPTICS, ELECTRONICS OR OPTOELECTRONICS AND RESULTING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1344246(A2) 申请公布日期 2003.09.17
申请号 EP20010997835 申请日期 2001.11.26
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 LETERTRE, FABRICE;GHYSELEN, BRUNO
分类号 H01L33/00;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/04;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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