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经营范围
发明名称
Electron beam apparatus
摘要
申请公布号
EP0886294(B1)
申请公布日期
2003.09.17
申请号
EP19980202951
申请日期
1995.06.27
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
MITSUTAKE, HIDEAKI;KAWATE, SHINICHI;NAKAMURA, NAOTO;SANO, YOSHIHISA
分类号
H01J5/03;H01J9/18;H01J9/24;H01J29/02;H01J29/86;H01J29/87;H01J31/12;(IPC1-7):H01J31/12;H01J29/82
主分类号
H01J5/03
代理机构
代理人
主权项
地址
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