发明名称 液晶基板洗净移载装置
摘要 一种液晶基板洗净移载装置,包含有:一座体;二卡匣座,分别设置于该座体的进料端及出料端;其中至少一卡匣座枢设于该座体而可旋摆;一旋转放置台,设置于该座体且位于该二卡匣之间;一吸取机构,由一吸嘴若干滑轨所组成,该等滑轨设置于该座体上,该吸嘴则设置于至少一滑轨上,得受驱动而于该座体上做X、Y轴的位移;一移载手臂,设置于该座体上方,且位于该等卡匣座以及该旋转放置台的上方,可相对于该座体做X、Y、Z轴三度空间移动,该移载手臂的前端具有一旋摆板,得旋摆而呈垂直或水平状;由此,得使液晶基板在移载过程中不易掉片,亦不易造成液晶基板损坏。
申请公布号 CN2573099Y 申请公布日期 2003.09.17
申请号 CN02252593.9 申请日期 2002.09.11
申请人 东捷半导体科技股份有限公司 发明人 严灿焜
分类号 B08B11/00 主分类号 B08B11/00
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周长兴
主权项 1、一种液晶基板洗净移载装置,其特征在于,包含有:一座体,其两端分别为进料端及出料端;二卡匣座,分别设置于该座体的进料端及出料端,各该卡匣座配合容置装设有多数液晶基板的一卡匣;其中至少一卡匣座枢设于该座体;一旋转放置台,设置于该座体,位于该二卡匣之间;一吸取机构,由一吸嘴、若干滑轨所组成,该等滑轨设置于该座体上,该吸嘴设置于至少一滑轨上;一移载手臂,设置于该座体上方,且位于该等卡匣座以及该旋转放置台的上方,该移载手臂前端具有一旋摆板。
地址 台湾省台南市
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