发明名称 | 液晶基板洗净移载装置 | ||
摘要 | 一种液晶基板洗净移载装置,包含有:一座体;二卡匣座,分别设置于该座体的进料端及出料端;其中至少一卡匣座枢设于该座体而可旋摆;一旋转放置台,设置于该座体且位于该二卡匣之间;一吸取机构,由一吸嘴若干滑轨所组成,该等滑轨设置于该座体上,该吸嘴则设置于至少一滑轨上,得受驱动而于该座体上做X、Y轴的位移;一移载手臂,设置于该座体上方,且位于该等卡匣座以及该旋转放置台的上方,可相对于该座体做X、Y、Z轴三度空间移动,该移载手臂的前端具有一旋摆板,得旋摆而呈垂直或水平状;由此,得使液晶基板在移载过程中不易掉片,亦不易造成液晶基板损坏。 | ||
申请公布号 | CN2573099Y | 申请公布日期 | 2003.09.17 |
申请号 | CN02252593.9 | 申请日期 | 2002.09.11 |
申请人 | 东捷半导体科技股份有限公司 | 发明人 | 严灿焜 |
分类号 | B08B11/00 | 主分类号 | B08B11/00 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周长兴 |
主权项 | 1、一种液晶基板洗净移载装置,其特征在于,包含有:一座体,其两端分别为进料端及出料端;二卡匣座,分别设置于该座体的进料端及出料端,各该卡匣座配合容置装设有多数液晶基板的一卡匣;其中至少一卡匣座枢设于该座体;一旋转放置台,设置于该座体,位于该二卡匣之间;一吸取机构,由一吸嘴、若干滑轨所组成,该等滑轨设置于该座体上,该吸嘴设置于至少一滑轨上;一移载手臂,设置于该座体上方,且位于该等卡匣座以及该旋转放置台的上方,该移载手臂前端具有一旋摆板。 | ||
地址 | 台湾省台南市 |