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发明名称 MECHANICALLY REINFORCED HIGHLY POROUS LOW DIELECTRIC CONSTANT FILMS
摘要
申请公布号 EP1344248(A2) 申请公布日期 2003.09.17
申请号 EP20010272453 申请日期 2001.11.13
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 WONG, LAWRENCE
分类号 H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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