一种用以在半导体制程之中侦测电荷效应之测试结构与方法

摘要

一种半导体制程测试结构，其包括一电极、一电荷捕捉层、以及一扩散区域。此测试结构系为一类电容结构，其中电荷捕捉层会捕捉在不同制程步骤中所产生的电荷。可接着使用闸极诱发汲极漏电流(GIDL)测量技术以标准化此测试结构的充电状态。