电浆氧化处理方法

摘要

在电浆处理装置的处理室内,使用含氧的处理气体,且使用O(^1D2)自由基之密度为110^12【【㎝^-3】】以上的电浆,将被处理体的表面施行电浆氧化处理,而形成氧化矽膜。在进行电浆氧化处理的期间,利用VUV单光器(monochromater)63,计测电浆中之O(^1D2)自由基的密度,且修正电浆处理条件。